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熔融硅微粉以天然結晶石英為原料******
新聞來源: 點擊數:1788 更新時間:2016/5/9 11:06:37
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一般集成電路都是用光刻的方法將電路集中刻制在單晶硅片上,然后接好連接引線和管角,再用環氧塑封料封裝而成。塑封料的熱膨脹率與單晶硅的越接近,集成電路的工作熱穩定性就越好。單晶硅的熔點為1415℃,膨脹系數為3.5PPM,熔融石英粉的為(0.3~0.5)PPM,環氧樹脂的為(30~50)PPM,當熔融球形石英粉以高比例加入環氧樹脂中制成塑封料時,其熱膨脹系數可調到8PPM左右,加得越多就越接近單晶硅片的,也就越好。而結晶粉俗稱生粉的熱膨脹系數為60PPM,結晶石英的熔點為1996℃,不能取代熔融石英粉(即
熔融硅微粉
),所以中高檔集成電路中不用球形粉時,也要用熔融的角形硅微粉。這也是高檔球形粉想用結晶粉整形為近球形不能成功的原因所在。
高檔塑封料粉不能用結晶粉取代。是用熔融石英(即高純石英玻璃),還是用結晶石英,哪一種為原料生產高純球形石英粉為好?根據試驗,專家認為:這個題已經十分清楚,用天然石英SiO2,高溫熔融噴射制球,可以制得完全熔融的球形石英粉。用天然結晶石英制成粉,然后分散后用等離子火焰制成的球就是熔融的球,用火焰燒粉制得的球,表面光華,體積也有收縮,更好用,日本提供的這種粉,用X射線光譜分析譜線完全是平的,也是全熔融球形石英粉,而國內電熔融的石英,如熔融石英光譜分析不定型含量為95%,譜線仍能看出有尖峰,仍有5%未熔融。由此可見,生產球形石英粉,只要純度能達到要求,以天然結晶石英為原料******,其生產成本******,工藝路線更簡捷。
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