石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿，每生產(chǎn)一爐單晶硅就用掉一只石英坩堝。因?yàn)閱尉Ч枋巧a(chǎn)大規(guī)模集成電路的原材料，所以對(duì)石英坩堝的要求十分苛刻。目前單晶硅的發(fā)展主要向大直徑、高純度以及雜質(zhì)分布高均勻性的方向發(fā)展。 而石英坩堝是直拉單晶硅生長(zhǎng)過(guò)程中的重要材料，它的純度和加工質(zhì)量會(huì)直接影 響單晶硅的產(chǎn)量和質(zhì)量，隨著直拉單晶硅投料量和晶體生長(zhǎng)直徑的不斷增大，對(duì) 石英坩堝的純度和質(zhì)量要求越來(lái)越高，主要有以下幾方面要求：
１）材質(zhì)必須是 高純度半導(dǎo)體級(jí)，且純度要高，有害化學(xué)元素小于２０Ｘ １０｛；
２）耐高溫性強(qiáng)， 在高溫過(guò)程中保持高電阻率及防止軟化；
３）坩堝的尺寸大，國(guó)外已普遍使用２２ 英寸及３６英寸的石英坩堝；
４）氣泡要少，氣泡在生產(chǎn)中不長(zhǎng)大；
５）規(guī)格精度 高，耐溫性能好，節(jié)約能源。因此，隨著對(duì)大直徑單晶硅質(zhì)量要求的不斷提高， 對(duì)半導(dǎo)體材料用石英制品及相關(guān)材料提出了更高的要求。
單晶硅坩堝蓋板 | 
